一、概述
EGS01系列是ELLITOP针对科研和工业环境推出的高精度快速摄谱型广义光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。
EGS01广义光谱椭偏仪采用宽带超消色差补偿器、利用快速补偿器同步扫描测量的采样模式、基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，用于测量纳米薄膜样品、块状材料和各向异性材料。
可测量样品包括：
1）单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）；
2）块状材料的物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）；
3）镜面样品的光谱透射率和光谱反射率测量；
4）各向异性样品的性质，包括波片相位延迟差和快轴方位角、旋光片的旋光角等；
5）特殊样品的几何关键尺寸等形貌信息以及光学特征信息提取。
二、技术优势
（1） 双旋转补偿器测量技术：可测量样品的、退偏振、4×4Mueller矩阵的全部16个元素，分光椭偏（椭偏参数Ψ和Δ、膜层厚度、折射率实部和虚部、介电常数实部和虚部）、光强度（透过率和反射率）；
（2） 数据采集时间：≤0.3s（包括 4×4 穆勒矩阵测量；测量光谱点≥1000个）；
（3） 原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层；
（4） 视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差；
（5） 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；
（6） 反射率/透射率测量：对样品进行光谱反射率、透射率测量；
（7） 一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求；
（8） 分析功能：多入射角度测量合成数据分析；
（9） 测试结果输出：Mueller矩阵元素（EGS系列16个）及其相关的其它输出形式（N、C、S）；
（10） 数据接口：可与MES系统进行数据对接。