1. IC纳米行业
(1) 行业背景：
(2) 解决方案：通过椭偏仪测量样品的椭偏角，根据客户提供层构信息进行样品参数拟合，进而得到样品的膜厚和光学常数
(3) 测试案例
① 膜层结构
②椭偏角匹配度和得到的光学常数
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