纳米薄膜测试

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量拓科技以国际一流的椭偏仪作为主要的测试手段,针对纳米薄膜,为客户提供专业的薄膜层构参数(膜厚)和物性参数(折射率n、消光系数)检测和分析。

目前开展的纳米薄膜测试服务主要包括:

1. 非实时测量:

  • 单层纳米薄膜样品的膜层厚度
  • 多层纳米薄膜样品的膜层厚度
  • 单一波长(632.8nm)下的折射率n和消光系数k
  • 连续光谱范围(250-1000nm)内的折射率n和消光系数k,或介电函数e1和e2
  • 纳米薄膜表面的微粗糙度(nm量级)
  • 纳米薄膜层间过渡层的厚度和光学常数

2. 实时测量:

  • 快速变化的纳米薄膜动态生长中膜层的厚度,以及632.8nm波长下的折射率n和消光系数k

3. 数据拟合分析:

  • 对于客户利用椭偏仪已经得到的数据,量拓科技可提供数据的拟合分析服务

 

量拓科技已对来自全国各地的科研院所、大学和企业等的纳米薄膜样品进行了测试,典型样品包括:

1. 光伏太阳电池领域:

  • 绒面单晶硅太阳电池上的单层纳米薄膜(带栅线、无栅线)
  • 绒面多晶硅太阳电池上的单层纳米薄膜(带栅线、无栅线)
  • 绒面多晶硅太阳电池上的双层纳米薄膜
  • 超白玻璃上镀的纳米薄膜
  • 玻璃基底上的氧化锌铝纳米膜层
  • CIGS薄膜太阳电池

2. 半导体领域:

  • 硅基底上的2nm的超薄SiO2纳米薄膜
  • 硅基底上的不同厚度的SiO2纳米薄膜
  • 硅基底上的HfO2纳米薄膜
  • 硅基底上的Al2O3纳米薄膜
  • 硅基底上的TiO2纳米薄膜

3. 光电领域:

  • SiO2薄膜光子晶体
  • 单面抛光K9玻璃上镀的纳米硅膜
  • 抛光晶体硅上的纳米硅膜
  • 抛光晶体硅上的氮化硅玻璃上的SiO2薄膜
  • 玻璃上的SiO2纳米薄膜
  • 玻璃上的TiO2纳米薄膜

4. 生物领域:

  • 硅基底上的蛋白质单分子膜层
  • 硅基底上的DNA分子膜层
  • 玻璃基底上的蛋白质分子膜层

5. 光学领域:

  • 光学玻璃上镀的纳米薄膜

6. 材料领域:

  • 热电薄膜(BiTeSe)
  • CTO薄膜
  • ITO薄膜
  • ITO基底上的纳米薄膜

7. 化学化工:

  • 固体基底上的有机功能薄膜

8. 其它:

  • 钢板上的氧化铬纳米薄膜
  • 玻璃上的防指纹膜

 

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