SiO2/Si 纳米薄膜

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  • NFS -SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片

       提供采用热氧化方法在单面抛光硅片表面上生长了厚度约100nm的SiO2薄膜标片,并可提供SiO2纳米薄膜的准确厚度值(采用椭偏方法测定,厚度精度可达到0.05nm)。可用于纳米膜厚测量仪器的标准片或参考片,也可用于加工复杂二...

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